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ES612A 用于测试ESD-HBM、ESD-HMM、ESD-MM的静电放电发生器

ES612A 用于测试ESD-HBM、ESD-HMM、ESD-MM的静电放电发生器

简介:

ES612A是美国ESDEMC公司生产并由深圳EUTTEST公司代理销售的静电发生器,该静电发生器可以完成器件级别的ESD-HBM、ESD-HMM、ESD-MM测试项目。发生器上的DC特性测试端口,可搭配数字源表等DC测试设备,较为轻松的帮助确定静电损伤阈值。ES612A可搭配多管脚自动化发生器进行应用扩展,也可用作器件质检规范流程的一步。

ES612A 静电发生器的脉冲源设计和注入方法能够确保被测器件端的波形性能。该设备内置的电流探头自动抓取脉冲注入时的波形,用于确定保护电路的导通电平。此外,电压波形也可通过选配的电压探头连接示波器进行抓取。由于该设备还可扩展进行ESD波形注入前后的DC特性检测,因此可进行ESD事件的损伤判定。

符合测试标准:

  • 用于晶圆、封装、PCB和系统级器件的通用ESD测试
  • HBM模块符合ANSI / ESDA / JEDEC JS-001-2017、MIL-STD-883和MIL-STD-750
  • HMM模块符合ANSI / ESD SP5.6-2019
  • MM模块符合ANSI / ESD STM5.2-2019

可选配的脉冲IV和DC IV表征功能

ES612A的放电波形图
ES612A的放电波形图
ES612A测试系统配置图
ES612A测试系统配置图

技术参数:

ESDEMC的ES612A替代了ES612型号,且ES612A根据不同的测试运用有多种输出电压和模块可以选择:

ESD外置人体模型(HBM )波形发生模块

根据ANSI/ESDA/JEDEC JS-001-2017标准要求设计

参数 HBM-2K HBM-4K HBM-6K HBM -8K HBM -12K HBM -20K 单位
输出电压 ± 10 ~ 2000 ± 10 ~ 4000 ± 10 ~ 6000 ± 10 ~ 8000 ± 10 ~ 12000 ± 10 ~ 20000 V
放电RC值 C: 100 pF ± 10%, R: 1.5kΩ ± 1%
短路峰值电流Ips 0.67A ± 10 % 每kV ns
短负荷上升时间Trs 2 < Trs < 10 ns
短负荷衰减时间Tds 130 < Tds < 170 ns
短负荷振铃Irs < 15% of Ips
500Ω负载峰值电流Ipr Ipr/Ips ≥ 63%
500Ω负载上升时间Trr 5 < Trr < 25 ns
  1. ESD外置人体金属模型(HMM )波形发生模块

根据ANSI/ESD SP5.6-2019标准要求设计

参数 HMM-8 HMM-24 HMM-36 单位 备注
HMM第一峰值电流 90 90 135 A 3.75 A每1 kV ≤ ± 10 %

IEC 61000-4-2 (R=330Ω, C=150pF)

HMM电流@ 30 ns 48 48 72 A ≤ ± 10 % (优于IEC标准的 ±30% )
HMM电流@ 60 ns 24 24 36 A ≤ ± 10 % (优于IEC标准的 ±30% )
  1. ESD外置机器模型(MM )波形发生模块

根据ANSI/ESD STM5.2-2019标准要求设计

参数 MM-2 MM-4 单位 备注
输出电压 ±10 ~ 2000 ±10 ~ 4000 V
放电RC值 C: 200 pF, R: 0 Ω
短路负载峰值电流Ip1 1.75±10%每100V A 如果使用插座公差会不同
短路负载Ip2  Ip1的67% ~ 90% A
短路负载波形周期tpm 66 < tpm < 90 ns
500 Ω负载峰值电流Ipr 0.85 – 1.2 A @400V符合标准的条件
500 Ω负载I100 0.23 – 0.4 A @400V符合标准的条件
500 Ω负载I200 测量的 I100的30 -50% A

设备选件订购:

从上方表格可以看出ES612A有多种测试配置和测试附件,请选择下方选件与我们联系获得报价信息。

编号 型号 描述
ESD测试仪
1.1 ES612A-2K ES612 ESD测试仪, 最高2kV, 支持RS232 SCPI
  ES612A-4K ES612 ESD测试仪, 最高4kV, 支持RS232 SCPI
  ES612A-6K ES612 ESD测试仪, 最高6kV, 支持RS232 SCPI
  ES612A-8K ES612 ESD测试仪, 最高8kV, 支持RS232 SCPI
  ES612A-12K ES612 ESD测试仪, 最高12kV, 支持RS232 SCPI
  ES612A-20K ES612 ESD测试仪, 最高20kV, 支持RS232 SCPI
1.2 ES612A-HBM-2 人体模型2管脚模型, 2kV
  ES612A-HBM-4 人体模型2管脚模型, 4kV
  ES612A-HBM-6 人体模型2管脚模型, 6kV
  ES612A-HBM-8 人体模型2管脚模型, 8kV
  ES612A-HBM-12 人体模型2管脚模型, 12kV
  ES612A-HBM-20 人体模型2管脚模型, 20kV
1.3 ES612A-HMM-8 人体金属模型2管脚模型, 等同8kV HMM
  ES612A-HMM-24 人体金属模型2管脚模型, 等同24kV HMM
  ES612A-HMM-36 人体金属模型2管脚模型, 等同36kV HMM
1.4 ES612A-MM-2 机器模型2管脚测试仪模型, 2kV
  ES612A-MM-4 机器模型2管脚测试仪模型, 4kV
附件
2.1 CT-002-T 电流探头1kHz 至 2 GHz (优于Tektronix CT1 & CT2)
2.2 ES62X-CMPS 简易手动探针台
2.3 XYZM XYZ探针座, XYZ可移动500 mils, 0.01mm每个步进
2.4 XYZM-HBM HBM探针臂
2.5 XYZM-HMM HMM探针臂(47.5R)
2.6 HBM-TC0.3 0.3 mm用于IC探针封装的变桨测试夹
2.7 HBM-TC2.5 2.54 mm用于PCB探针的变桨测试夹(默认配置包含1组)
2.8 XYZM-PP048 0.48 mm用于封装级测试的弹簧针 (一包20个)
2.9 XYZM-TN1 钨钢针 – 5 mils尖头, 用于晶圆级测试 (一包10个)
第三方设备
3.1 KSMU2400 SMU, 200V, 1A, 20W, 单通道(用于设备直流自动失效检测))
3.2 OSC-1G 1 GHz BW, 5Gs/S, 4通道示波器
自动化解决方案
4.1 HBM-RE64X2 64X2用于HBM自动测试的管脚转接扩展模块
4.2 HBM-RE128X2 128X2用于HBM自动测试的管脚转接扩展模块
4.3 HBM-RE256X2 256X2用于HBM自动测试的管脚转接扩展模块
4.4 ES62X-PC-SW1 预装自动测试软件的台式电脑,用于2管脚、脉冲和SMU
4.5 ES62X-PC-SW2 预装自动测试软件的台式电脑,用于2管脚、脉冲、示波器和SMU
4.6 ES62X-PC-SW3 预装自动测试软件的台式电脑,用于RE 多管脚、脉冲、示波器和 SMU
4.7 ES650-150 全自动2管脚低寄生机械自动化方案
(不限制管脚, 不需要PCB, PC & 包含全自动软件)

 

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