简介：
ES612A是美国ESDEMC公司生产并由深圳EUTTEST公司代理销售的静电发生器，该静电发生器可以完成器件级别的ESD-HBM、ESD-HMM、ESD-MM测试项目。发生器上的DC特性测试端口，可搭配数字源表等DC测试设备，较为轻松的帮助确定静电损伤阈值。ES612A可搭配多管脚自动化发生器进行应用扩展，也可用作器件质检规范流程的一步。
ES612A 静电发生器的脉冲源设计和注入方法能够确保被测器件端的波形性能。该设备内置的电流探头自动抓取脉冲注入时的波形，用于确定保护电路的导通电平。此外，电压波形也可通过选配的电压探头连接示波器进行抓取。由于该设备还可扩展进行ESD波形注入前后的DC特性检测，因此可进行ESD事件的损伤判定。
符合测试标准：
- 用于晶圆、封装、PCB和系统级器件的通用ESD测试
- HBM模块符合ANSI / ESDA / JEDEC JS-001-2017、MIL-STD-883和MIL-STD-750
- HMM模块符合ANSI / ESD SP5.6-2019
- MM模块符合ANSI / ESD STM5.2-2019
可选配的脉冲IV和DC IV表征功能
技术参数：
ESDEMC的ES612A替代了ES612型号，且ES612A根据不同的测试运用有多种输出电压和模块可以选择：
ESD外置人体模型（HBM ）波形发生模块
根据ANSI/ESDA/JEDEC JS-001-2017标准要求设计
| 参数 | HBM-2K | HBM-4K | HBM-6K | HBM -8K | HBM -12K | HBM -20K | 单位 |
| 输出电压 | ± 10 ~ 2000 | ± 10 ~ 4000 | ± 10 ~ 6000 | ± 10 ~ 8000 | ± 10 ~ 12000 | ± 10 ~ 20000 | V |
| 放电RC值 | C: 100 pF ± 10%, R: 1.5kΩ ± 1% | ||||||
| 短路峰值电流Ips | 0.67A ± 10 % 每kV | ns | |||||
| 短负荷上升时间Trs | 2 < Trs < 10 | ns | |||||
| 短负荷衰减时间Tds | 130 < Tds < 170 | ns | |||||
| 短负荷振铃Irs | < 15% of Ips | ||||||
| 500Ω负载峰值电流Ipr | Ipr/Ips ≥ 63% | ||||||
| 500Ω负载上升时间Trr | 5 < Trr < 25 | ns | |||||
- ESD外置人体金属模型（HMM ）波形发生模块
根据ANSI/ESD SP5.6-2019标准要求设计
| 参数 | HMM-8 | HMM-24 | HMM-36 | 单位 | 备注 |
| HMM第一峰值电流 | 90 | 90 | 135 | A | 3.75 A每1 kV ≤ ± 10 % IEC 61000-4-2 (R=330Ω, C=150pF) |
| HMM电流@ 30 ns | 48 | 48 | 72 | A | ≤ ± 10 % (优于IEC标准的 ±30% ) |
| HMM电流@ 60 ns | 24 | 24 | 36 | A | ≤ ± 10 % (优于IEC标准的 ±30% ) |
- ESD外置机器模型（MM ）波形发生模块
根据ANSI/ESD STM5.2-2019标准要求设计
| 参数 | MM-2 | MM-4 | 单位 | 备注 |
| 输出电压 | ±10 ~ 2000 | ±10 ~ 4000 | V | |
| 放电RC值 | C: 200 pF, R: 0 Ω | |||
| 短路负载峰值电流Ip1 | 1.75±10%每100V | A | 如果使用插座公差会不同 | |
| 短路负载Ip2 | Ip1的67% ~ 90% | A | ||
| 短路负载波形周期tpm | 66 < tpm < 90 | ns | ||
| 500 Ω负载峰值电流Ipr | 0.85 – 1.2 | A | @400V符合标准的条件 | |
| 500 Ω负载I100 | 0.23 – 0.4 | A | @400V符合标准的条件 | |
| 500 Ω负载I200 | 测量的 I100的30 -50% | A | ||
设备选件订购：
从上方表格可以看出ES612A有多种测试配置和测试附件，请选择下方选件与我们联系获得报价信息。
| 编号 | 型号 | 描述 |
| ESD测试仪 | ||
| 1.1 | ES612A-2K | ES612 ESD测试仪, 最高2kV, 支持RS232 SCPI |
| ES612A-4K | ES612 ESD测试仪, 最高4kV, 支持RS232 SCPI | |
| ES612A-6K | ES612 ESD测试仪, 最高6kV, 支持RS232 SCPI | |
| ES612A-8K | ES612 ESD测试仪, 最高8kV, 支持RS232 SCPI | |
| ES612A-12K | ES612 ESD测试仪, 最高12kV, 支持RS232 SCPI | |
| ES612A-20K | ES612 ESD测试仪, 最高20kV, 支持RS232 SCPI | |
| 1.2 | ES612A-HBM-2 | 人体模型2管脚模型, 2kV |
| ES612A-HBM-4 | 人体模型2管脚模型, 4kV | |
| ES612A-HBM-6 | 人体模型2管脚模型, 6kV | |
| ES612A-HBM-8 | 人体模型2管脚模型, 8kV | |
| ES612A-HBM-12 | 人体模型2管脚模型, 12kV | |
| ES612A-HBM-20 | 人体模型2管脚模型, 20kV | |
| 1.3 | ES612A-HMM-8 | 人体金属模型2管脚模型, 等同8kV HMM |
| ES612A-HMM-24 | 人体金属模型2管脚模型, 等同24kV HMM | |
| ES612A-HMM-36 | 人体金属模型2管脚模型, 等同36kV HMM | |
| 1.4 | ES612A-MM-2 | 机器模型2管脚测试仪模型, 2kV |
| ES612A-MM-4 | 机器模型2管脚测试仪模型, 4kV | |
| 附件 | ||
| 2.1 | CT-002-T | 电流探头1kHz 至 2 GHz (优于Tektronix CT1 & CT2) |
| 2.2 | ES62X-CMPS | 简易手动探针台 |
| 2.3 | XYZM | XYZ探针座, XYZ可移动500 mils, 0.01mm每个步进 |
| 2.4 | XYZM-HBM | HBM探针臂 |
| 2.5 | XYZM-HMM | HMM探针臂(47.5R) |
| 2.6 | HBM-TC0.3 | 0.3 mm用于IC探针封装的变桨测试夹 |
| 2.7 | HBM-TC2.5 | 2.54 mm用于PCB探针的变桨测试夹(默认配置包含1组) |
| 2.8 | XYZM-PP048 | 0.48 mm用于封装级测试的弹簧针 (一包20个) |
| 2.9 | XYZM-TN1 | 钨钢针 – 5 mils尖头, 用于晶圆级测试 (一包10个) |
| 第三方设备 | ||
| 3.1 | KSMU2400 | SMU, 200V, 1A, 20W, 单通道(用于设备直流自动失效检测)) |
| 3.2 | OSC-1G | 1 GHz BW, 5Gs/S, 4通道示波器 |
| 自动化解决方案 | ||
| 4.1 | HBM-RE64X2 | 64X2用于HBM自动测试的管脚转接扩展模块 |
| 4.2 | HBM-RE128X2 | 128X2用于HBM自动测试的管脚转接扩展模块 |
| 4.3 | HBM-RE256X2 | 256X2用于HBM自动测试的管脚转接扩展模块 |
| 4.4 | ES62X-PC-SW1 | 预装自动测试软件的台式电脑，用于2管脚、脉冲和SMU |
| 4.5 | ES62X-PC-SW2 | 预装自动测试软件的台式电脑，用于2管脚、脉冲、示波器和SMU |
| 4.6 | ES62X-PC-SW3 | 预装自动测试软件的台式电脑，用于RE 多管脚、脉冲、示波器和 SMU |
| 4.7 | ES650-150 | 全自动2管脚低寄生机械自动化方案 (不限制管脚, 不需要PCB, PC & 包含全自动软件) |